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MFC流量控制器A
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更新时间:2021-03-15  |  阅读:1917

详情介绍

HORIBA质量流量控制器 HORIBA STEC专注于质量流量控制器的研究开发,服务于近乎艺术级的半导体制程,并持续不断地制造各类产品,满足用户的各种需求。

多种配置选择,通信模式可选择数字/模拟,DeviceNet, CC-Link,PROFIBUS.

两种气体管路接口到接口之间的尺寸规格供选择:124 mm-106mm- W系列)

气体流量控制范围扩大到从10 SCCM200 SLMSEC-N100系列适用于各种需要气体控制方面的应用。

特点:

高精度  高设定信号点精度

MFC的线性由多条近似曲线进行补偿。这样能确保在所有流量控制范围内的高精度。为了改进针对实际气体的精度,HORIBA STEC使用标准气体测量系统测试各种制程中使用的气体并取得测试数据。

精度:±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.

全流量范围的高速相应  

新的可变PID算法:1秒高速响应SEC-N100具有新研发的“可变PID系统",能在1秒内对任何信号设定点进行响应。可变 PID根据设定流量点位不断修正计算,这样当用户改变满量程和气体种类时PID参数能得到优化。

多气体,多量程的解决方案

附加的软件可以让用户很容易地改变使用规格

新的多气体,多量程系统使在用户端自由改变气体种类和使用量程范围成为可能。

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