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MFC流量控制器能够快速、准确地确定稳定的流量。与任何其它产品相比,我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值,使其能够抑制管线压力波动,因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
MFC流量控制器基于压力的质量流量仪表的性能:
》在大多数流量仪表上0.6%的读数精度 》4 ms响应时间
》无需预热 》四个过程变量
》内置的显示 》工业协议
》压力补偿 》温度补偿
》宽动态流量范围
气体喷射控制pH值(MC系列)
在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需求。
快速泄漏测试(MCW系列)
将“Whisper”质量流量控制器设置为压力控制模式,使其在同一设备中兼具压力控制器和质量流量计的功能。
反应溅射气体流量控制(MCV系列)
准确控制真空室内反应气体的分压,其气动截止阀能确保无流量时的正向切断。
OEM气体分析仪流量控制(BASIS系列)
体积小、即时准备控制、双向通讯等特点使得BASIS系列产品可被轻松整合到终端用户产品内。