硅烷 （SiH4)

甲硅烷包装：采用44L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到8L的气瓶中。

用途：硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积。

理化性质: 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在温室下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其他气体稀释，如果浓度不够低，仍能自燃。硅烷在氩气中含2%，氮气中含2.5%，氢气中含1%，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。

注意事项：使用硅烷的工作场所要通风，保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封，避免和空气、水分相接触，为此，用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空，这样反复进行置换和抽真空，一定要*清除系统中的空气和水分。装置使用以后，也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时，从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处，要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷无腐蚀性，可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火，所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势，使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高，所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收，或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。