氨气 （NH3)

包装：采用450L、200L钢瓶充装。

用途：用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜

理化性质: 通常为无色有强烈刺激性气味，常温下加压可液化，临界温度132.9℃，临界压力11.38MPa，常压下冷却到－33.35℃时液化。液氨挥发性很强，气化时吸热很大，在－77.75℃时凝固成无色结晶。氨极易溶于水，并放出热量。氨的水溶液称为氨水，呈弱碱性，易挥发。自燃点630℃，在空气中遇火能爆炸。

常温、常压下在空气中的爆炸极限为16％～28％（体积）。

注意事项：

1、工作时应选用耐腐蚀的工作服、防碱手套、眼镜、胶鞋、用硫酸铜或硫酸锌防毒口罩，防毒口罩应定期检查，以防失效。

2、在使用氨水作业时，应在作业者身旁放一盆清水，以防万一；在氨水运输过程中，应随身携带2~3只盛满3%硼酸液的水壶，以备急救冲洗；配制一定浓度氨水时，应戴上风镜；使用氨水时，作业者应在上风处，防止它刺激面部；操作时要严禁用手揉擦眼睛，操作后洗净双手。

3、配备良好的通风排气设施、合适的防爆、灭火装置。

4、工作场所禁止饮食、吸烟、禁止明火、火花。

5、应急救援时，必须佩带空气呼吸器。

6、发生泄漏时，将泄漏钢瓶的渗口朝上，防止液态氨溢出。

7、加强生产过程的密闭化和自动化，防止跑、冒、滴、漏。

8、使用、运输和贮存时应注意安全，防止容器破裂和冒气。

9、现场安装监测仪及时报警发现。