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品名 | 浓度 (%) | 平衡气体 | 压力(MPa) | 容积(L) | 阀门 |
硅烷混合气体 | 0.5-50 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 | 可根据用户要求提供 |
磷烷混合气体 | 5ppm-23 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
混合气体 | 5ppm-10 | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 | |
砷烷混合气体 | 5ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
硒化氢混合 | 10ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 | |
乙硅烷 | 5ppm-2 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 | |
锗烷 | 5ppm-0.5 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
电子气体包装:1-40(升)瓶装,标准充装压力:9.5 MPa,组分和浓度范围可根据要求配制。
经营范围包括许可项目:检验检测服务(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准) 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术推广服务;仪器仪表销售;电子元器件与机电组件设备销售;化工产品销售(不含许可类化工产品);特种设备销售;金属包装容器及材料销售;日用百货销售;办公用品销售;计算机软硬件及辅助设备批发;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。