超纯气体是指气体中杂质的含量非常低，纯度高达99.999%以上的气体。它们在许多领域都有广泛的应用，包括制作电子元件、光学元件、太阳能电池、化学分析等。
 

　　超纯气体的制备大多是从工业气体加以纯化，有吸附法、吸收法、薄膜扩散法、电解法、生化法、辐射法、光解法、低温精馏法、催化法等。以氮气为例，超纯氮气可以从空气中提取，通过低温吸附的方法纯化。而粗氩也可以从合成氨弛放气中提取，再经纯化而得超纯气体。
 

　　超纯气体在各个领域都有广泛的应用。例如，在电子元件制造过程中，纯度高达99.999%的氢气可以用于去除氧化层，从而保证芯片的质量。另外，高纯度氮气也可以用于制造有机LED器件，这些器件具有高亮度和长寿命等优点。
 

　　除了电子元件制造外，高纯度气体在化学分析、生物制药、太阳能电池等领域也有广泛的应用。例如，在生物制药过程中，高纯度氧气可以用来增强细胞的代谢活性，从而提高生产效率。在太阳能电池制造过程中，纯度高达99.999%的氢气可以用来清洗晶体硅片，从而提高太阳能电池的转换效率。
 

　　总之，超纯气体的制备和应用是一个重要的课题。通过采用先进的制备技术，并采取有效的措施来保持气体的高纯度，可以得到高纯度氮气、氢气、氧气等气体，在各个领域中有广泛应用。